发明名称 升降定位治具
摘要 一种升降定位治具包括一基座、设置于基座的一升降单元、设置于升降单元的一承载座、连接升降单元的一操控件、及两定位杆。所述承载座适于承载一热遮罩,而操控件用以驱动升降单元,以使升降单元能承托承载座以沿一铅锤方向往复移动。所述两定位杆的一端固定于基座,而另一端用以分别抵接于一长晶炉炉盖内的两支撑柱底缘。并且两定位杆适于穿设于热遮罩的两定位孔,以使承载座被升降单元承托以沿铅锤方向往复移动时,热遮罩受承载座承托而以其定位孔沿定位杆移动,藉以使定位孔能相对于支撑柱移动。
申请公布号 TWM442365 申请公布日期 2012.12.01
申请号 TW101214375 申请日期 2012.07.25
申请人 中美矽晶制品股份有限公司 新竹市科学工业园区工业东二路8号;环球晶圆股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区工业东二路8号 发明人 庄清福;王汉民;刘建成;张智昌;钱俊逸;王荣宗;游惠乔;徐文庆
分类号 C30B35/00 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人 庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项 一种升降定位治具,用以使一热遮罩的两定位孔能沿一铅锤方向相对于一长晶炉炉盖内的两支撑柱移动,该升降定位治具包括:一基座,用以置放于一工作面上;一升降单元,设置于该基座;一承载座,包含:一支撑件,用以承载该热遮罩的一环状部,该支撑件的内缘界定有一通口,适于使该热遮罩的一桶状部穿过;及一连接件,连接于该支撑件与该升降单元;一操控件,连接于该升降单元,该操控件用以驱动该升降单元,以使该升降单元能承托该承载座以沿该铅锤方向往复移动;以及两定位杆,各自的一端固定于该基座,而该两定位杆的另一端用以分别抵接于该长晶炉炉盖内的两支撑柱底缘,并且该两定位杆适于穿设于该热遮罩的两定位孔,以使该承载座被该升降单元承托以沿该铅锤方向往复移动时,该热遮罩能受该承载座承托而沿该两定位杆移动。如申请专利范围第1项所述之升降定位治具,其中该支撑件形成有两开孔,该两开孔分别套设于该两定位杆,且该支撑件位于该两开孔旁的侧壁分别与该两定位杆留有一距离。如申请专利范围第2项所述之升降定位治具,其中该长晶炉炉盖的两支撑柱适于各以一扣持件扣持,以使该热遮罩能与该长晶炉炉盖的相对位置保持不变,并且该支撑件的两开孔适于在该承载座沿该铅锤方向往复移动时,供该两扣持件穿过。如申请专利范围第2项所述之升降定位治具,其中该支撑件的两开孔皆呈圆形,且该两定位杆大致分别位于该两开孔的中心轴线上。如申请专利范围第1项所述之升降定位治具,其中该升降单元具有一升降盘、一驱动件、及一连杆组,该承载座的连接件连接于该升降盘,该连杆组连接于该升降盘与该驱动件,该驱动件经由该操控件驱动,而能驱使该连杆组连动该升降盘,使该承载座沿该铅锤方向往复移动。如申请专利范围第5项所述之升降定位治具,其中该驱动件为至少一液压缸或至少一气压缸。如申请专利范围第1项所述之升降定位治具,其中该升降单元能承托该承载座以沿该铅锤方向往复移动的距离小于两公尺。如申请专利范围第1项所述之升降定位治具,其中每一定位杆的水平截面面积大致相同于每一支撑柱的水平截面面积。如申请专利范围第1项所述之升降定位治具,其中经由该连接件连接该支撑件与该升降单元,以使该支撑件与该升降单元之间的距离适于供该桶状部穿过该通口的部位容置。如申请专利范围第1至9项中任一项所述之升降定位治具,其中该基座具有数个滚轮,该升降定位治具透过该些滚轮而能于该工作面上移动。
地址 新竹市科学工业园区工业东二路8号;新竹市新竹科学工业园区工业东二路8号