发明名称 具电性连接结构之封装基板
摘要 一种具电性连接结构之封装基板,系包括:一基板本体,至少一表面具有复数电性连接垫;一应力缓冲金属层,系设于该电性连接垫表面;一防焊层,系设于该基板本体表面,并具有复数开孔以显露该应力缓冲金属层之部份表面;一金属柱,系设于该应力缓冲金属层表面;以及一焊料凸块,系包覆在该金属柱外露之表面;藉由该应力缓冲金属层以释放热应力,且藉由该金属柱与焊料凸块以增加凸块高度,俾提供良好可靠度之电性连接结构。
申请公布号 TWI378544 申请公布日期 2012.12.01
申请号 TW096126297 申请日期 2007.07.19
申请人 欣兴电子股份有限公司 发明人 许诗滨
分类号 H01L23/492 主分类号 H01L23/492
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项 一种具电性连接结构之封装基板,系包括:一基板本体,至少一表面具有复数电性连接垫;一应力缓冲金属层,系设于该电性连接垫之全部顶表面,以于热循环制程中释放热应力;一防焊层,系设于该基板本体表面,并具有复数开孔以显露该应力缓冲金属层之部份表面;一金属柱,系设于该开孔显露之应力缓冲金属层表面,以于使用时,藉由该金属柱与该应力缓冲金属层释放热应力;以及一焊料凸块,系包覆在该金属柱外露之表面,其中,该应力缓冲金属层之熔点系低于焊料凸块之熔点。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该应力缓冲金属层之材料系为锡(Sn)、铅(Sn)、铜(Cu)、银(Ag)、铋(Bi)、锌(Zn)、铟(In)及上述材料所成群组之其中一者。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该金属柱系为铜(Cu)、镍/金(Ni/Au)、铬(Cr)、铜(Cu)加镍/钯/金(Ni/Pd/Au)表面处理、铜(Cu)加金(Au)表面处理及铜(Cu)加镍/金(Ni/Au)表面处理之其中一者。如申请专利范围第1项之封装基板,复包括一第一导电层,系设于该基板与电性连接垫之间。如申请专利范围第1项之封装基板,复包括一第二导电层,系设于该金属柱与焊料凸块之间。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该金属柱系外露出该防焊层表面并露出部份侧表面。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该金属柱系填充于防焊层开孔中并与开孔内壁接合。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该防焊层开孔显露该金属柱之侧表面及顶面。如申请专利范围第8项之封装基板,其中,该焊料凸块系填充于防焊层开孔中并与开孔内壁接合。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该金属柱顶部系外露出焊料凸块表面。一种具电性连接结构之封装基板,系包括:一基板本体,至少一表面具有复数电性连接垫;一应力缓冲金属层,系设于该电性连接垫之全部顶表面,以于热循环制程中释放热应力;一防焊层,系设于该基板本体表面,并具有复数开孔以完全显露出该应力缓冲金属层;一金属柱,系设于该应力缓冲金属层表面,以于使用时,藉由该金属柱与该应力缓冲金属层释放热应力;以及一焊料凸块,系包覆在该金属柱外露之表面,其中,该应力缓冲金属层之熔点系低于焊料凸块之熔点。如申请专利范围第11项之封装基板,其中,该应力缓冲金属层之材料系为锡(Sn)、铅(Sn)、铜(Cu)、银(Ag)、铋(Bi)、锌(Zn)、铟(In)及上述材料所成群组之其中一者。如申请专利范围第11项之封装基板,其中,该金属柱系为铜(Cu)、镍/金(Ni/Au)、铬(Cr)、铜(Cu)加镍/钯/金(Ni/Pd/Au)表面处理、铜(Cu)加金(Au)表面处理及铜(Cu)加镍/金(Ni/Au)表面处理之其中一者。如申请专利范围第11项之封装基板,复包括一第一导电层,系设于该基板与电性连接垫之间。如申请专利范围第11项之封装基板,复包括一第二导电层,系设于该金属柱与焊料凸块之间。如申请专利范围第11项之封装基板,其中,该金属柱系外露出该防焊层表面。如申请专利范围第11项之封装基板,其中,该金属柱之侧表面系显露于防焊层开孔中。如申请专利范围第11项之封装基板,其中,该金属柱顶部系外露出焊料凸块表面。
地址 桃园县桃园市龟山工业区兴邦路38号