机车

摘要

本发明系关于一种用于处理基板(40)之电浆反应器(1)，其包括配置于反应器(1)内之至少两电极(20、30)，于其间界定出一内部制程空间(13)，其中该两电极(20、30)系彼此对置且电极(20、30)之第一表面(20a)相互平行。此外，其包括用于输送气体进出电浆反应器(1)之气体入口(11)及气体出口(12)，连接至电极(20、30)中之至少一者的射频产生器(21)。电极(20、30)中之至少一者具有一校正层，该校正层沿面对内部制程空间(13)之表面(20a)具有非平面形状，其在沿电极(20)之半径之第一横剖面中具有包括三个连续且相邻之区段(即第一、第二及第三区段)的轮廓，其中该第三区段系邻接于电极(20)之边缘，且其中第一区段中之中间梯度系小于第二区段中之中间梯度，且第二区段中之中间梯度系大于第三区段中之中间梯度。以上述方式成形之电极(20)沿基板(40)之表面提供均匀的电浆密度，且因此提供均匀且特征在于均匀厚度的处理。本发明进一步可使真空处理装置(1)之构造精简。

主权项

一种机车，其包含：一后挡泥板，其覆盖后车轮，该后挡泥板包含支撑部分、凹入部分、及下方挡泥板，且该后挡泥板系由单一构件所构成；一由该后挡泥板之支撑部分所支撑之灯具；其中该凹入部分系配置于该支撑部分与该下方挡泥板之间而使该下方挡泥板从该凹入部分向下延伸，该凹入部分系在车辆宽度方向上从该后挡泥板之第一边缘延伸至第二边缘；该凹入部分系设置成当一力量施加在该下方挡泥板时可容许该下方挡泥板相对该凹入部分弯曲；该下方挡泥板系在车辆宽度方向上向外侧延伸，使该下方挡泥板之侧端位于该凹入部分之侧端的车辆宽度方向上的外侧；一车牌板被安装至该支撑部分；该车牌板之一下边缘延伸至低于该凹入部分之处。如请求项1之机车，其中该支撑部分包括一在车辆宽度方向上延伸之板片部分、以及至少一从该板片部分向上延伸之加强板部分。如请求项2之机车，其中该支撑部分包括两个在车辆宽度方向上彼此相面对之加强板部分。如请求项3之机车，其中该下方挡泥板系于该凹入部分之下方向下延伸。如请求项1之机车，其中该后挡泥板之该凹入部分具有较该后挡泥板之其他部分之厚度为薄之厚度。如请求项1之机车，其中该凹入部分系形成为在车辆宽度方向上从该后挡泥板之第一边缘延伸至该后挡泥板之第二边缘之该后挡泥板中的一凹沟。如请求项1之机车，其中该后挡泥板之该支撑部分系配置成当一力量施加在该下方挡泥板使得该下方挡泥板相对该凹入部分弯曲时不会弯曲。一种机车，其包含：一后车轮；一后挡泥板，其大致位于该后车轮上方，该后挡泥板包含支撑部分、凹入部分、及下方挡泥板，且该后挡泥板系由单一构件所构成；一结合至该后挡泥板且由该支撑部分所支撑之灯具；其中该凹入部分系配置于该支撑部分与该下方挡泥板之间，且系在车辆宽度方向上大致从该后挡泥板之第一边缘延伸至后挡泥板之第二边缘而横越该后挡泥板；当一力量施加在该下方挡泥板时该凹入部分可防止该后挡泥板之该支撑部分弯曲；该下方挡泥板系在车辆宽度方向上向外侧延伸，使该下方挡泥板之侧端位于该凹入部分之侧端的车辆宽度方向上的外侧；一车牌板被安装至该支撑部分；该车牌板之一下边缘延伸至低于该凹入部分之处。如请求项8之机车，其中该支撑部分包括一在车辆宽度方向上延伸之板片部分、以及至少一从该板片部分向上延伸之加强板部分。如请求项9之机车，其中该支撑部分包括两个在车辆宽度方向上彼此相面对之加强板部分。如请求项9之机车，其中该下方挡泥板系于该凹入部分之侧端下方向下延伸。如请求项8之机车，其中该后挡泥板之该凹入部分具有较该后挡泥板之其他部分之厚度为薄之厚度。如请求项8之机车，其中该凹入部分系形成为在车辆宽度方向上从该后挡泥板之第一边缘延伸至该后挡泥板之第二边缘之该后挡泥板中的一凹沟。