具备气化器的气体供给装置

摘要

[课题]提供一种气体供给装置，可达成具备气化器的气体供给装置的节能化及装置的小型化，并且不需要严格的气化器侧的温度控制就可稳定且简单地进行高精度的气体流量控制。;[技术内容]一种具备气化器的气体供给装置，由：液体收容槽筒、及将液体气化的气化器、及将气化气体的流量调整用的高温型压力式流量控制装置、及将气化器及高温型压力式流量控制装置及与这些连接的配管路的所期部分加热用的加热装置所构成。

主权项

一种具备气化器的气体供给装置，是由：液体收容槽筒、及将从液体收容槽筒被压送来的液体气化的气化器、及将来自气化器的流出气体的流量调整用的高温型压力式流量控制装置、及将气化器及高温型压力式流量控制装置及与这些连接的配管路的所期部分加热用的加热装置所构成，前述高温型压力式流量控制装置，是包含：控制阀、及让气体流通的流出孔、及检出气体压力用的压力检出器、及检出气体温度用的温度检出器、及组装控制阀、流出孔、压力检出器、温度检出器的装置本体、及被插设于装置本体并将装置本体加热至50℃~300℃的护套加热器，且前述气化器，是具备：设有所期的内部空间容积的气化室、及配设于前述气化室的外侧面的加热器。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，液体是水、氟化氢、四乙氧基矽烷、三甲基铝或是四(二乙基胺基)铪之中的任一。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，在气化器的气化室的上方搭载高温型压力式流量控制装置的装置本体。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，具备液体供给控制装置，使高温型压力式流量控制装置的上流侧的气体压力成为预先决定的设定压力以上的方式，调整从液体收容槽筒朝气化器压送的液体量。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，具备温度控制装置，使高温型压力式流量控制装置的上流侧压力成为预先决定的设定压力以上的方式，调整气化器的加热温度。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，气化器，是由：具备所期的内部空间容积的气化室、及在气化室的内部隔有间隔配置的复数脉动减低用隔板、及配设在气化室的外侧面的加热器所构成。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，在气化器及高温型压力式流量控制装置之间的配管通路具备安全阀，当通路内的气体压力到达预先决定的高温压力式流量控制装置的最高使用压力的附近时作动。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，高温型压力式流量控制，是藉由加热器将高温型压力式流量控制装置的装置本体加热至20℃~250℃的温度。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，气化器的加热温度为20℃~250℃。如申请专利范围第1项的具备气化器的气体供给装置，其中，在气化器及高温型压力式流量控制装置之间的配管路设有缓冲槽筒。如申请专利范围第6项的具备气化器的气体供给装置，其中，将气化器的气化室作为金属制气化室并且在其外侧面设置均热托板，进一步在其外侧具备绝热材。如申请专利范围第6项的具备气化器的气体供给装置，其中，气化器的气化室，是具备存在于气化室内的液分的滞留部。如申请专利范围第6项的具备气化器的气体供给装置，其中，金属制气化室是金属制圆筒型气化室，并且脉动减低用隔板是圆盘型，在气化室的内部隔有间隔地将2枚的脉动减低用隔板配置成同芯状。如申请专利范围第6项的具备气化器的气体供给装置，其中，在气化室的内部充填钢制球和多孔金属板制的加热促集体。如申请专利范围第8项的具备气化器的气体供给装置，其中，在高温型压力式流量控制装置的装置本体将铝制均热板固定，并且在装置本体的气体入口侧通路及气体出口侧通路的附近配设护套加热器，且接气体部分的温度差为6℃以下。如申请专利范围第8或9项的具备气化器的气体供给装置，其中，在形成于铝制厚板的内侧面的加热器插入内部将所期的长度的护套加热器插合固定而形成的加热器是配设在高温型压力式流量控制装置的两侧面或是气化器的两侧面及底面。