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发明名称 DRIVE METHOD FOR MOBILE BODY, STAGE DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 KR101206671(B1) 申请公布日期 2012.11.29
申请号 KR20067020950 申请日期 2005.04.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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