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发明名称
Blende
摘要
Eine Blende (23) für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage weist einen strahlungsdurchlässigen Bereich mit einer diskreten Symmetriegruppe auf. Die Blende (23) ist vorzugsweise im Bereich einer Zwischenfokusebene angeordnet.
申请公布号
DE102011076297(A1)
申请公布日期
2012.11.29
申请号
DE20111076297
申请日期
2011.05.23
申请人
CARL ZEISS SMT GMBH
发明人
ENDRES, MARTIN
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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