发明名称 用于半导体封装的封装夹具及工艺
摘要 实施例是用于半导体封装的方法。该方法包括:将芯片穿过夹具的第一侧面附接到载体基板,该芯片通过凸块附接;将球穿过夹具的第二侧面施加在载体基板上的接合焊盘;以及同时回流凸块和球。根据另一个实施例,封装夹具包括盖板、基座和连接件。盖板具有穿过该盖板的第一窗口。基座具有穿过该基座的第二窗口。第一窗口暴露出盖板和基座中间的体积的第一表面,而第二窗口暴露出该体积的第二表面。第一表面相对于体积与第二表面相对。连接件对齐和连接盖板与基座。本发明还公开了一种用于半导体封装的封装夹具及工艺。
申请公布号 CN102800600A 申请公布日期 2012.11.28
申请号 CN201110391058.X 申请日期 2011.11.25
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 黄启铭;王宗鼎
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京德恒律师事务所 11306 代理人 陆鑫;房岭梅
主权项 一种用于半导体封装的方法,所述方法包括:将芯片穿过夹具的第一侧面附接到载体基板上,通过凸块附接所述芯片;将球穿过所述夹具的第二侧面施加在所述载体基板上的接合焊盘;以及回流所述凸块和所述球。
地址 中国台湾新竹
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