发明名称 |
用于半导体封装的封装夹具及工艺 |
摘要 |
实施例是用于半导体封装的方法。该方法包括:将芯片穿过夹具的第一侧面附接到载体基板,该芯片通过凸块附接;将球穿过夹具的第二侧面施加在载体基板上的接合焊盘;以及同时回流凸块和球。根据另一个实施例,封装夹具包括盖板、基座和连接件。盖板具有穿过该盖板的第一窗口。基座具有穿过该基座的第二窗口。第一窗口暴露出盖板和基座中间的体积的第一表面,而第二窗口暴露出该体积的第二表面。第一表面相对于体积与第二表面相对。连接件对齐和连接盖板与基座。本发明还公开了一种用于半导体封装的封装夹具及工艺。 |
申请公布号 |
CN102800600A |
申请公布日期 |
2012.11.28 |
申请号 |
CN201110391058.X |
申请日期 |
2011.11.25 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
黄启铭;王宗鼎 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律师事务所 11306 |
代理人 |
陆鑫;房岭梅 |
主权项 |
一种用于半导体封装的方法,所述方法包括:将芯片穿过夹具的第一侧面附接到载体基板上,通过凸块附接所述芯片;将球穿过所述夹具的第二侧面施加在所述载体基板上的接合焊盘;以及回流所述凸块和所述球。 |
地址 |
中国台湾新竹 |