光刻胶组合物

摘要

一种光刻胶组合物包含酸敏感聚合物，和具有如下通式的环状锍化合物：(Ra)1-(Ar)-S+(-CH2-)m·-O3S-(CRb2)n-(L)p-X其中每个Ra独立地为取代或未取代的C1-30烷基，C6-30芳基，C7-30芳烷基，或包含前述至少一种的组合，Ar是单环，多环，或稠合多环C6-30芳基，每个Rb独立地为H，F，直链或支链的C1-10氟烷基，或直链或支链的含有杂原子的C1-10氟烷基，L是C1-30的连接基团，任选包含杂原子，所述杂原子包含O，S，N，F，或包含至少一种前述杂原子的组合，X是取代或未取代的C5或更大的单环，多环或稠合多环脂环基团，任选包含杂原子，所述杂原子包含O，S，N，F，或包含前述至少一种的组合，并且1是0到4的整数，m是3到20的整数，n是0到4的整数，且p是0到2的整数。

主权项

一种组合物，其包含：酸敏感聚合物，和具有如下通式的环状锍化合物：(Ra)l‑(Ar)‑S+(‑CH2‑)m·‑O3S‑(CRb2)n‑(L)p‑X其中每个Ra独立地为取代或未取代的C1‑30烷基，C6‑30芳基，C7‑30芳烷基，或包含前述至少一种的组合，Ar是单环、多环、或稠合多环C6‑30芳基，每个Rb独立地为H、F、直链或支链的C1‑10氟烷基、或直链或支链的含有杂原子的C1‑10氟烷基，L是C1‑30的连接基团，其任选包含杂原子，所述杂原子包含O、S、N、F，或包含至少一种前述杂原子的组合，X是取代或未取代的C5或更大的单环、多环或稠合多环脂环基团，任选包含杂原子，所述杂原子包含O、S、N、F，或包含前述至少一种的组合，并且，l是0到4的整数，m是3到20的整数，n是0到4的整数，且p是0到2的整数。