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发明名称 SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH AUTOMATED ALIGNMENT
摘要
申请公布号 EP1904893(B1) 申请公布日期 2012.11.28
申请号 EP20060786953 申请日期 2006.07.11
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 HOFMEISER, CHRISTOPHER;HOSEK, MARTIN;BEALE, STUART
分类号 H01L21/68;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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