发明名称 半导体基底、半导体装置及其制造方法
摘要 本发明提供了一种制造半导体基底的方法,该半导体基底包括:基底;第一半导体层,布置在基底上;金属材料层,布置在第一半导体层上;第二半导体层,布置在第一半导体层和金属材料层上;腔,形成在位于金属材料层下方的第一半导体层中。
申请公布号 CN102804414A 申请公布日期 2012.11.28
申请号 CN201080026251.7 申请日期 2010.06.10
申请人 首尔OPTO仪器股份有限公司 发明人 酒井士郎
分类号 H01L33/12(2006.01)I;H01L33/20(2006.01)I 主分类号 H01L33/12(2006.01)I
代理机构 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人 郭鸿禧;薛义丹
主权项 一种半导体基底,所述半导体基底包括:基底;第一半导体层,布置在基底上;金属材料层,布置在第一半导体层上;第二半导体层,布置在第一半导体层和金属材料层上;腔,形成在第一半导体层的位于金属材料层下方的部分处。
地址 韩国京畿道