一种传感器的制造方法

摘要

本发明公开了一种传感器的制造方法，包括：在衬底基板上通过一次构图工艺形成源极和漏极的图形、数据线的图形、接收电极的图形、光电二极管的图形，以及透明电极的图形；通过一次构图工艺形成欧姆层的图形；通过一次构图工艺形成有源层的图形；通过一次构图工艺形成栅极绝缘层的图形，所述栅极绝缘层在透明电极的上方具有通孔；通过一次构图工艺形成栅极的图形、栅线的图形，以及在透明电极的上方通过通孔与透明电极连接的偏压线的图形。对比于现有技术，本发明方法在制造工艺上减少了掩模板的使用数量，降低了制造成本，简化了生产工艺，大大提升了设备产能及产品的良品率。

主权项

一种传感器的制造方法，其特征在于，包括：在衬底基板上通过一次构图工艺形成源极和漏极的图形，与漏极连接的数据线的图形，与源极连接的接收电极的图形，位于接收电极之上的光电二极管的图形，以及位于光电二极管之上的透明电极的图形；其中，所述源极和漏极相对而置形成沟道；通过一次构图工艺形成位于源极和漏极之上的欧姆层的图形；通过一次构图工艺形成位于欧姆层之上并覆盖沟道的有源层的图形；通过一次构图工艺形成栅极绝缘层的图形，所述栅极绝缘层在透明电极的上方具有通孔；通过一次构图工艺形成位于栅极绝缘层之上、沟道上方的栅极的图形，与栅极连接的栅线的图形，以及在透明电极的上方通过通孔与透明电极连接的偏压线的图形。