激光束传送系统和方法及使用该系统和方法的激光剥离法

摘要

本发明提供一种激光束传送系统和方法，以及制备垂直型LED所必需的工艺之一的激光剥离(LLO)方法。本发明的激光束传送系统包括：激光束源，用于射出激光束；光束均化器，用于提高所述激光束的能量强度的均匀性，所述光束均化器包括微透镜型复眼透镜；遮盖，用于遮蔽已穿透光束均化器的所述激光束在焦平面处的截面的外围区域；以及成像透镜，用于将所述激光束施加到目标的单位照射区域。根据本发明，提高了整个束斑上的能量强度的均匀性，因而也显著提高了工艺生产率。此外，简化了制造工艺，降低了制造成本，从而提高了在LED市场的竞争力。

主权项

一种激光束传送系统，包括：激光束源，用于射出激光束；光束均化器，用于提高所述激光束的能量强度的均匀性，所述光束均化器包括第一微透镜型复眼透镜，用于将从所述激光束源射出的所述激光束划分为多个细光束，第二微透镜型复眼透镜，用于调节所述多个细光束的散射角度，和聚光透镜，用于聚合所述多个散射角度被调节的细光束；遮盖，用于遮蔽已穿透光束均化器的所述激光束在焦平面处的截面的外围区域；成像透镜，用于将所述激光束施加到目标的单位照射区域；以及场透镜，所述场透镜在所述光束均化器与所述遮盖之间，用于调节所述光束均化器与所述遮盖之间的距离。