主权项 |
一种扩散硅压力传感器测试夹具,其特征在于,包括夹具底座、夹具上模和针板(5),所述的夹具底座包括底板(1)和下模载板(2),底板(1)上设有压力气体进口和具有多个节点(14)的网状结构,该网状结构与该压力气体进口相通;下模载板(2)上加工有数量与节点(14)数量相同的压力接口(17),压力接口(17)与节点(14)一一对应,压力接口(17)为台阶孔;压力接口(17)与节点(14)相通,压力接口(17)中直径较大的孔背离底板(1);所述的夹具上模包括上模压板(3)和上模隔板(4),上模压板(3)的一个端面上设有数量与压力接口(17)数量相同的第一安装孔(24),并形成一一对应,上模压板(3)的另一个端面上设有数量与第一安装孔(24)数量相同的第二安装孔(34),第二安装孔(34)与第一安装孔(24)一一对应,相对应的第一安装孔(24)与第二安装孔(34)通过第三连接孔(35)相通;第一安装孔(24)的直径和第二安装孔(34)的直径均大于第三连接孔(35)的直径;所述的上模隔板(4)包括绝缘材料制成的上模隔板本体(26),上模隔板本体(26)上加工有数量与第一安装孔(24)数量相同的安装座孔,并形成一一对应;每个安装座孔内均安装有一个绝缘材料制成的传感器座(28),传感器座(28)的一端位于安装座孔内,传感器座(28)的另一端伸入第二安装孔(34)内,传感器座(28)上加工有多个引脚孔(30);所述的针板(5)包括绝缘材料制成的针板本体(32),针板本体(32)上设有数量与引脚孔(30)数量相同的探针导向孔,并一一对应。 |