浆料供应系统

摘要

本发明提供一种浆料供应系统，此浆料供应系统具有多个供应模块及冲洗模块，此冲洗模块同时连接多个供应模块。每个供应模块包含浆料储槽及连接浆料储槽的至少一输送线，每条输送线导向一个化学机械抛光装置。冲洗模块包含冲洗液储槽及连接冲洗液储槽的多条冲洗线，每条冲洗线连接每条输送线以使冲洗模块能选择性地冲洗其中一条输送线。

主权项

一种用于化学机械抛光装置的浆料供应系统，该浆料供应系统包含：多个供应模块，每个供应模块包含：浆料储槽；及至少一输送线连接该浆料储槽，每条输送线为导向这些化学机械抛光装置的其中之一；浆料管线连接每条输送线与该浆料储槽；及至少一浆料阀位在该浆料管线及该输送线连接处，每个浆料阀对应这些输送线的其中之一，及冲洗模块连接每个供应模块，该冲洗模块包含：冲洗液储槽；多条冲洗线连接至该冲洗液储槽，每条冲洗线连接这些输送线的其中之一；及至少一第一冲洗阀设置于每条冲洗线上，其中该冲洗模块通过操作这些输送线的其中一条所对应的该第一冲洗阀以选择性冲洗这些输送线的任一条。