修正激光处理系统中的系统误差的方法

摘要

一种在三个维度上校正激光微加工系统(20)的方法，其包含：扫描(70)样本工件(22)以决定3D表面；按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描数据的最佳拟合表面；以及储存(84)此结果，因而可对后续工件进行校正，以移除由相关的材料处置子系统内的偏差所引入的系统误差。该方法可视需要利用平板弯折理论以将粒子污染模型化，并利用样条函数以片段方式拟合该3D表面，以最小化局部偏差对整个表面拟合的影响。

主权项

一种检测在校正过的材料处理系统所固定的工件下的粒子污染的方法，其包含：在多个位置执行工件的3D测量，以建构出该工件的3D图；通过以下步骤形成校正图：在多个位置执行工件的3D测量以构建所述工件的3D图；通过比较该3D图上的所测基准点的位置与它们的已知位置，来修正X及Y位置的误差；对该3D图数据计算第一最佳拟合表面；通过第一表面减法运算去除第一误差，所述第一表面减法运算包括从该3D图数据中减去所述第一最佳拟合表面以形成第一剩余值；对由所述第一表面减法运算形成的所述第一剩余值计算第二最佳拟合表面；通过第二表面减法运算去除第二误差，所述第二表面减法运算包括从所述第一剩余值中减去所述第二最佳拟合表面以形成第二剩余值；将由所述第二表面减法运算形成的所述第二剩余值分成多个较小的相邻区域；对所述多个区域中的每个区域计算局部最佳拟合表面，以形成对应的局部表面；以及将X及Y位置修正、所述第一最佳拟合表面、所述第二最佳拟合表面和所述局部表面合并成校正图；通过比较该校正图与该3D测量结果，以校正该3D图；以及通过处理该校正的3D图以检测粒子污染。