膜缺陷检查方法及装置

摘要

本发明公开一种膜缺陷检查方法和装置，在由受光机(24)对从投光机(22)向透明膜(12)面照射的检查光(20)在膜表面所反射的反射散射光进行检测，并基于检测结果对膜表面的微细伤痕(14)进行检查的膜缺陷检查方法中，一边对透明膜(12)沿其长度方向及宽方向进行牵引而保持膜的平面性，一边在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置投光机(22)的状态将检查光(20)照射到膜表面，并且在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置受光机(24)的状态中对反射散射光进行受光。由此甚至是膜表面产生的微细缺陷也能够高灵敏度进行检测。

主权项

一种膜缺陷检查方法，其中，利用受光机对从投光机向膜表面照射的检查光在膜表面所反射的反射散射光进行检测，并基于检测结果对所述膜表面的微细缺陷进行离线检查，在所述离线检查中，一边将所述膜沿其长度方向及宽方向牵引而保持膜的平面性以使得所述膜面以高低0μm为理想水平面时所述膜面的高低是±150μm以内且膜面相对于所述理想水平面的倾斜角度α是1°以内，一边在将所述投光机与所述微细缺陷的发生方向大致平行地配置的状态中将所述检查光照射到所述膜表面，并且在与所述微细缺陷的发生方向大致平行地配置所述受光机的状态中，对所述反射散射光进行受光，将所述投光机和所述受光机配置为，设所述受光机的光轴和所述投光机的正反射光所成的角度为θ时，满足‑10°≤θ≤+10°、θ≠0°的范围。