电子束曝光系统

摘要

本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。

主权项

一种用于以多束平版印刷系统将图案转移到目标曝光表面上的方法，包括以下步骤：产生多个电子小射束；借助于用于消隐或不消隐每个小射束的调制器设备，单独地调制所述多个电子小射束的每个小射束的强度；借助于操作地连接到所述调制器的控制器，使用控制信号控制所述调制器设备；和单独地调节每个调制器的每个控制信号。