发明名称 用于涂敷模塑料的层叠封装工艺
摘要 一种封装方法包括在离型膜上方布置封装部件,其中,该封装部件的表面上的焊球与该离型膜物理接触。然后,对填充在离型膜和封装部件之间的模塑料进行固化,其中,在该固化步骤中焊球仍与离型膜保持物理接触。本发明还公开了一种用于涂敷模塑料的层叠封装工艺。
申请公布号 CN102800601A 申请公布日期 2012.11.28
申请号 CN201210010818.2 申请日期 2012.01.11
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈孟泽;林威宏;吴胜郁;林俊成;黄贵伟;蔡钰芃;林志伟;吕文雄;林修任;张博平;郑明达;刘重希
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京德恒律师事务所 11306 代理人 陆鑫;房岭梅
主权项 一种方法,包括提供封装部件,包括:器件管芯,以及焊球,其中,所述器件管芯和所述焊球与所述封装部件的相同面接合;将所述封装部件压在离型膜上,其中,所述焊球的第一部分被压入所述离型膜中,而所述焊球的第二部分以及所述器件管芯未被压入所述离型膜中;在所述离型膜和所述封装部件之间的空间中填充模塑料,其中,所述器件管芯完全被埋在所述模塑料中;以及固化所述模塑料。
地址 中国台湾新竹