硅片脱胶机及其防压篮保护机械手

摘要

本实用新型提供了一种硅片脱胶机防压篮保护机械手，在“压篮”情况下，抓料勾受到料篮的挤压，当只有一个抓料勾与机械手托盘设置料勾导向装置时，该抓料勾受挤压作用与料勾导向装置产生相对位置的滑移，在一定程度上避免该抓料勾直接滑入料篮中对晶棒或晶片的挤压，当多个抓料勾与机械手托盘均设置有料勾导向装置时，各个抓料勾在受到料篮的挤压时均向料勾导向装置内产生滑动，从而进一步的避免了在“压篮”情况发生时，抓料勾对料篮中硅片或硅棒的挤压，避免了晶片或晶棒的损坏。本实用新型还提供了一种硅片脱胶机，其上设置有具有如上结构的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其保证了料篮和机械手工作的稳定性。

主权项

一种硅片脱胶机防压篮保护机械手，包括机械手托盘(2)和设置于所述机械手托盘上的第一抓料勾(3)、第二抓料勾(4)、第三抓料勾(5)、第四抓料勾，其特征在于，至少一个抓料勾与所述机械手托盘之间设置有料勾导向装置，所述抓料勾可滑动的与所述料勾导向装置相连。