一种小孔扩散障极限电流型氧传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种小孔扩散障极限电流型氧传感器及其制造方法，包括小孔扩散障层和氧泵层，小孔扩散障层和氧泵层均为La1-xSrxGa1-yMgyO3-δ材料采用流延法制备的陶瓷薄片，小孔扩散障层叠置在氧泵层的上表面，并且小孔扩散障层和氧泵层的叠置间密封式压装有带有负电极引线的负电极层，该小孔扩散障层的中心纵向贯通制有用于连通外部环境和负电极层上表面的扩散小孔，氧泵层下表面设置有带有正电极引线的正电极层，正电极引线和负电极引线分别用于连接电源的正负极，小孔扩散障层和氧泵层采用高温烧结成一体，其高温烧结的温度1350℃～1500℃。本发明制造工艺简单，性能稳定、机械强度好，具有检测精度高，响应时间短及使用寿命长的特点。

主权项

一种小孔扩散障极限电流型氧传感器，包括小孔扩散障层(1)和氧泵层(2)，其特征是：所述的小孔扩散障层(1)和氧泵层(2)均为La1‑xSrxGa1‑yMgyO3‑δ材料采用流延法制备的陶瓷薄片，所述的小孔扩散障层(1)叠置在氧泵层(2)的上表面，并且小孔扩散障层(1)和氧泵层(2)的叠置间密封式压装有带有负电极引线(6)的负电极层(3)，该小孔扩散障层(1)的中心纵向贯通制有用于连通外部环境和负电极层(3)上表面的扩散小孔(5)，所述的氧泵层(2)下表面设置有带有正电极引线(7)的正电极层(4)，所述的正电极引线(7)和负电极引线(6)分别用于连接电源(8)的正负极，所述的小孔扩散障层(1)和氧泵层(2)采用高温烧结成一体。