正型干膜光致抗蚀剂

摘要

正型光致抗蚀剂树脂膜包含载体膜和层压在所述载体膜上面的热固性正型光致抗蚀剂树脂层。所述正型光致抗蚀剂树脂层包含碱溶性树脂、重氮化物基光敏化合物和灵敏度增强剂。所述载体膜具有抑制缺陷结构如鱼眼的形成的表面粗糙度。本发明克服了加工的低效率和由旋涂光致抗蚀剂的技术导致的缺陷。

主权项

一种干膜抗蚀剂，其包含：载体膜；和在所述载体膜上面的光致抗蚀剂层，其中所述载体膜具有不大于300nm的峰高Rp，所述峰高Rp定义为位于选择区域的z轴方向的高度剖面中的平均表面高度MHt和最高表面峰的高度之间的高度差；其中，所述光致抗蚀剂层的厚度不大于10μm；所述载体膜是聚对苯二甲酸乙二醇酯膜或双轴取向聚丙烯膜。