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经营范围
发明名称
POLISHING PAD WITH MICROPOROUS REGIONS
摘要
申请公布号
EP1814694(B1)
申请公布日期
2012.11.28
申请号
EP20050858600
申请日期
2005.08.31
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
发明人
PRASAD, ABANESHWAR
分类号
B24B37/00
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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