| 发明名称 | 用于在真空室内固定反应器的托架 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种被构造用于在真空室（1）内固定反应器，尤其是PECVD反应器的托架。该托架（10）包括由至少两根彼此相对布置的外梁（11）和多根横梁（12）构成的框架，其中外梁（11）和横梁（12）形成隔室（13），在隔室中设置温度控制元件。根据本发明的托架（10）具有减轻的重量并可节省生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102803556A | 申请公布日期 | 2012.11.28 |
| 申请号 | CN201180006134.9 | 申请日期 | 2011.01.12 |
| 申请人 | 欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫） | 发明人 | 爱德华·伊利尼奇;安德烈亚斯·迈尔 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人 | 孙皓晨;姚卫华 |
| 主权项 | 一种托架，其被构造用于在真空室（1）内固定反应器，尤其是用于固定PECVD反应器，所述托架（10）包括：框架，所述框架由至少两根彼此相对布置的外梁（11）和多根横梁（12）构成，其中所述外梁（11）和所述横梁（12）形成隔室（13），在所述隔室（13）内设置温度控制元件。 | ||
| 地址 | 瑞士特吕巴赫 | ||