石英加热管

摘要

本发明涉及一种加热管，特别涉及一种石英加热管。该石英加热管包括石英管本体，而内管为一字形，内管位于所述中管的底部横管内，内管内沿轴向设置有镍铬电热合金丝，与镍铬电热合金丝连接有电极；中管为Z字形，中管的底部横管为加热区，中管的中部竖管为传热区，中管的上部横管为冷却区。本发明的石英加热管用于硅片清洗液加热后，硅片清洗效果好；中管底部内套有内管，向待加热的液体逐渐传热，热损失小，电热转换效率高；中管内设有较长一段距离的传热区，使待加热液体受热更快更均匀；中管外设有冷却区，便于使用者在加热完后取出加热管，同时电线不会直接受到热蒸汽影响，安全系数高。

主权项

一种石英加热管，包括石英管本体，其特征在于：石英管本体包括内管(1)和中管(2)，内管(1)为一字形，内管(1)位于所述中管(2)的底部横管内，内管(1)内沿轴向设置有镍铬电热合金丝(5)，与镍铬电热合金丝(5)连接有电极(4)；中管(2)为Z字形，中管(2)的底部横管为加热区(7)，中管(2)的中部竖管为传热区(8)，中管(2)的上部横管为冷却区(9)，所述Z字形中管(2)上部横管的管径小于中管(2)其余部位的管径。