发明名称 SLURRY COMPOSITION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE BY USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101206075(B1) 申请公布日期 2012.11.28
申请号 KR20100129247 申请日期 2010.12.16
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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