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经营范围
发明名称
SLURRY COMPOSITION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE BY USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR101206075(B1)
申请公布日期
2012.11.28
申请号
KR20100129247
申请日期
2010.12.16
申请人
发明人
分类号
C09K3/14;H01L21/304
主分类号
C09K3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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