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发明名称
摘要
申请公布号	JP5083173(B2)	申请公布日期	2012.11.28
申请号	JP20080280443	申请日期	2008.10.30
申请人		发明人
分类号	C23C16/458;C23C16/34;C23C16/44;H01L21/285	主分类号	C23C16/458
代理机构		代理人
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