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发明名称 CONTACT FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP2293323(A4) 申请公布日期 2012.11.28
申请号 EP20090746471 申请日期 2009.04.17
申请人 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOHOKU UNVERSITY;FOUNDATION FOR ADVANCEMENT OF INTERNATIONAL SCIENCE 发明人 OHMI, TADAHIRO;TERAMOTO, AKINOBU;TANAKA, HIROAKI;ISOGAI, TATSUNORI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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