氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖

摘要

本发明的氯硅烷液的收纳容器具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖。所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体。所述封闭盖具备：具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。

主权项

一种氯硅烷液的收纳容器，其具有收纳所述氯硅烷液的箱、安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖，其中，所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体，所述壳具有连接法兰，所述连接法兰具有用于连接所述外部的配管的连接面，所述封闭盖具备：具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。