传送盒

摘要

一种可利用自动化传送系统(AMHS)来搬运的传送盒，由配置于传送盒上的头顶式升降搬运系统，以机械化运输光罩盒，可大幅降低人力搬运所造成光罩损坏风险，并减少人力的浪费，进而减少制备工艺所需的时间。

主权项

一种前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口；一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于：一对支撑架，相对地配置在该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上；复数对滑轨槽，平行相对的形成于该对支撑架上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；复数个放置板，每一该放置板平行配置于每一该对滑轨槽上；其中，该放置板包括：一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对滑轨槽相对的连接机构，经由该连接机构与该对滑轨槽接合。