发明名称 |
一种基底材料表面的Sm-Co基永磁薄膜及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种基底材料表面的Sm-Co基永磁薄膜,所述的基底材料与Sm-Co基永磁薄膜之间是缓冲层,所述的Sm-Co基永磁薄膜厚度为0.1um~100um,所述的缓冲层是钨薄膜层,其厚度为10nm~200nm。与现有技术中所采用的铬作为缓冲层的Sm-Co基永磁薄膜相比,本发明提供的具有钨缓冲层的Sm-Co基永磁薄膜具有薄膜质量好,与基底材料表面的附着力强,经过800℃高温退火处理后,薄膜不脱落,具有良好的应用前景。 |
申请公布号 |
CN102800457A |
申请公布日期 |
2012.11.28 |
申请号 |
CN201210200142.3 |
申请日期 |
2012.06.14 |
申请人 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
发明人 |
张昀;张健;刘平;闫阿儒 |
分类号 |
H01F10/16(2006.01)I;H01F41/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01F10/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 |
代理人 |
陈英俊 |
主权项 |
一种基底材料表面的Sm‑Co基永磁薄膜,所述的基底材料与Sm‑Co基永磁薄膜之间是缓冲层,其特征是:所述的Sm‑Co基永磁薄膜厚度为0.1um~100um,所述的缓冲层是钨薄膜层,其厚度为10nm~200nm。 |
地址 |
315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 |