发明名称 轴锥镜透射波面的测量方法
摘要 一种轴锥镜透射波面的测量方法,包括①制备凹面锥形反射镜、②安装测试装置、③调整光路和④测量四个步骤,该方法具有装置简单、对轴锥镜的锥角没有限制和易于测量等优点。
申请公布号 CN102798353A 申请公布日期 2012.11.28
申请号 CN201210297844.8 申请日期 2012.08.20
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 袁乔;曾爱军;张善华;黄惠杰
分类号 G01B11/24(2006.01)I 主分类号 G01B11/24(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 张泽纯
主权项 1.一种轴锥镜透射波面的测量方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:①制备凹面锥形反射镜:根据待测轴锥镜制作与之匹配的凹面锥形反射镜(4):该凹面锥形反射镜(4)的锥角<img file="FDA00002032363000011.GIF" wi="255" he="53" />式中<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><mi>&beta;</mi><mo>=</mo><mi>arcsin</mi><mo>{</mo><mi>n</mi><mi>sin</mi><mo>[</mo><mi>&theta;</mi><mo>-</mo><mi>arcsin</mi><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><mi>sin</mi><mi>&theta;</mi></mrow><mi>n</mi></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>]</mo><mo>}</mo></mrow></math>]]></maths>表示待测轴锥镜(3)对光束的折射角,其中n,θ分别为待测轴锥镜(3)的折射率和锥角;凹面锥形反射镜(4)的半径R1≥Rcosβ,其中R表示透过待测轴锥镜(3)的光束的半径;②安装测试装置:在移相干涉仪(1)输出的平行光束方向依次置入平面标准镜(2)、待测轴锥镜(3)和凹面锥形反射镜(4),所述的待测轴锥镜(3)的锥面朝向移相干涉仪(1)的出光方向,所述的凹面锥形反射镜(4)的凹面朝向移相干涉仪(1)的出光方向;③调整光路:调整所述的平面标准镜(2)的平行平面与所述的平行光束垂直;调整所述的待测轴锥镜(3)的平面与测量光束垂直,同时保证待测轴锥镜(3)的中轴与移相干涉仪(1)出射光束的中轴重合;调整所述的凹面锥形反射镜(4),使所述的凹面锥形反射镜(4)的中轴与待测轴锥镜(3)的中轴重合;④测量:所述的移相干涉仪(1)出射的光束经所述的平面标准镜(2)形成平行的测量光束,经所述的平面标准镜(2)返回的光束称为参考光束;所述的测量光束透过所述的待测轴锥镜(3)经所述的凹面锥形反射镜(4)反射沿原路返回,该原路返回的测量光束与平面标准镜(2)返回的参考光束产生干涉条纹;调整待测轴锥镜(3)和凹面锥形反射镜(4)之间的距离获得清晰的干涉条纹,利用所述的移相干涉仪(1)检测所述的干涉条纹,得到待测轴锥镜(3)的透射波面。
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