主权项 |
1.一种轴锥镜透射波面的测量方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:①制备凹面锥形反射镜:根据待测轴锥镜制作与之匹配的凹面锥形反射镜(4):该凹面锥形反射镜(4)的锥角<img file="FDA00002032363000011.GIF" wi="255" he="53" />式中<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><mi>β</mi><mo>=</mo><mi>arcsin</mi><mo>{</mo><mi>n</mi><mi>sin</mi><mo>[</mo><mi>θ</mi><mo>-</mo><mi>arcsin</mi><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><mi>sin</mi><mi>θ</mi></mrow><mi>n</mi></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>]</mo><mo>}</mo></mrow></math>]]></maths>表示待测轴锥镜(3)对光束的折射角,其中n,θ分别为待测轴锥镜(3)的折射率和锥角;凹面锥形反射镜(4)的半径R1≥Rcosβ,其中R表示透过待测轴锥镜(3)的光束的半径;②安装测试装置:在移相干涉仪(1)输出的平行光束方向依次置入平面标准镜(2)、待测轴锥镜(3)和凹面锥形反射镜(4),所述的待测轴锥镜(3)的锥面朝向移相干涉仪(1)的出光方向,所述的凹面锥形反射镜(4)的凹面朝向移相干涉仪(1)的出光方向;③调整光路:调整所述的平面标准镜(2)的平行平面与所述的平行光束垂直;调整所述的待测轴锥镜(3)的平面与测量光束垂直,同时保证待测轴锥镜(3)的中轴与移相干涉仪(1)出射光束的中轴重合;调整所述的凹面锥形反射镜(4),使所述的凹面锥形反射镜(4)的中轴与待测轴锥镜(3)的中轴重合;④测量:所述的移相干涉仪(1)出射的光束经所述的平面标准镜(2)形成平行的测量光束,经所述的平面标准镜(2)返回的光束称为参考光束;所述的测量光束透过所述的待测轴锥镜(3)经所述的凹面锥形反射镜(4)反射沿原路返回,该原路返回的测量光束与平面标准镜(2)返回的参考光束产生干涉条纹;调整待测轴锥镜(3)和凹面锥形反射镜(4)之间的距离获得清晰的干涉条纹,利用所述的移相干涉仪(1)检测所述的干涉条纹,得到待测轴锥镜(3)的透射波面。 |