发明名称 |
燃料电池极板的MEMS制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种燃料电池极板的MEMS制造方法,包括:在衬底上形成垫氧层;在所述垫氧层上形成垫氮层;蚀刻所述垫氮层和所述垫氧层,以形成硬掩模图形;以所述硬掩模图形为掩模,蚀刻所述衬底,在所述衬底的上表面上形成未贯穿所述衬底的多个微孔,所述多个微孔构成台面微结构;采用填充物以部分填充所述多个微孔,继续蚀刻其余微孔,直至形成贯穿所述衬底的多个穿孔;去除所述填充物、垫氧层、垫氮层,完全暴露所述衬底;在所述衬底的整个表面上形成绝缘层;在所述绝缘层的上表面上形成电极层。依照本发明的燃料电池极板的MEMS制造方法,相对于现有技术,减少了工艺步骤,降低了制造和时间成本,提高了加工精度及其相应的可靠性。 |
申请公布号 |
CN102800872A |
申请公布日期 |
2012.11.28 |
申请号 |
CN201110134239.4 |
申请日期 |
2011.05.23 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
李春龙;赵超 |
分类号 |
H01M4/88(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01M4/88(2006.01)I |
代理机构 |
北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 |
代理人 |
陈红 |
主权项 |
一种燃料电池极板的MEMS制造方法,包括:步骤A,在衬底上形成垫氧层;步骤B,在所述垫氧层上形成垫氮层;步骤C,蚀刻所述垫氮层和所述垫氧层,以形成硬掩模图形;步骤D,以所述硬掩模图形为掩模,蚀刻所述衬底,在所述衬底的上表面上形成未贯穿所述衬底的多个微孔,所述多个微孔构成台面微结构;步骤E,采用填充物以部分填充所述多个微孔,继续蚀刻其余微孔,直至形成贯穿所述衬底的多个穿孔;步骤F,去除所述填充物、垫氧层、垫氮层,完全暴露所述衬底;步骤G,在所述衬底的整个表面上形成绝缘层;步骤H,在所述绝缘层的上表面上形成电极层。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3# |