一种三氯氢硅合成气的处理方法

摘要

本发明提供了一种三氯氢硅合成气的处理方法，包括步骤：在压力为0.1MPa~0.3MPa，温度为35℃~55℃的急冷塔中，将三氯氢硅合成气在急冷塔洗涤液中进行喷淋洗涤，洗涤后的三氯氢硅合成气与洗涤后的洗涤液分离。所述三氯氢硅合成气的气体流量与所述急冷塔洗涤液的液体喷淋量的比值为1L/m3：（10~20）L/m3。本发明通过控制急冷塔的压力、温度以及联锁控制三氯氢硅合成气的气体流量与急冷塔洗涤液的液体喷淋量，使三氯氢硅合成气与洗涤液能够充分接触，从而将三氯氢硅合成气中的高沸物和粉尘颗粒洗涤干净，使高沸物和粉尘具有较高的洗涤率。

主权项

一种三氯氢硅合成气的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：在压力为0.1MPa~0.3MPa，温度为35℃~55℃的急冷塔中，将三氯氢硅合成气在急冷塔洗涤液中进行喷淋洗涤，所述三氯氢硅合成气的气体流量与所述急冷塔洗涤液的液体喷淋量的比值为1L/m3：（10~20）L/m3；将洗涤后的三氯氢硅合成气与洗涤后的洗涤液分离。