发明名称 估值装置、测量设备和测量路径长度的方法
摘要 一种用于路径长度测量的估值装置(51)配置为对测量信号(15)估值,测量信号(15)表示作为时间的函数的电磁辐射的脉冲序列的强度。脉冲序列具有重复频率。估值装置(51)配置为确定测量信号(15)的分量(63)与参考信号(67)之间的相位差,该分量(63)以第一频率振荡,参考信号(67)以该频率振荡。该估值装置(51)例如通过混频产生具有第二相位差(73)的第一信号(65)和第二信号(69),使得该第一信号(65)和该第二信号(69)各自以不同于所述频率的另一频率振荡,并且该第二相位差(73)与所述相位差(47)具有预定关系。
申请公布号 CN102803988A 申请公布日期 2012.11.28
申请号 CN201080035503.2 申请日期 2010.06.10
申请人 卡尔蔡司股份公司 发明人 B.斯普鲁克;F.霍勒;C.阿尔瓦雷兹迪兹
分类号 G01S17/36(2006.01)I 主分类号 G01S17/36(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 邱军
主权项 路径长度测量的估值装置,配置为在电磁辐射的脉冲序列已覆盖要测量的路径长度之后对作为时间的函数的测量信号(15;42)估值,该测量信号表示该电磁辐射的脉冲序列的强度,尤其光脉冲序列的强度,该脉冲序列具有重复频率,该估值装置(6;51;80)配置来确定测量信号(15;42)的分量(46;63)与参考信号(45;67)之间的相位差(47),所述测量信号(15;42)的分量(46;63)以一频率振荡,所述参考信号(45;67)以所述频率振荡,所述频率对应于该重复频率或该重复频率的倍数,并且其中,为了确定相位差(47),该估值装置(6;51;80)配置为产生具有另一相位差(73)的第一信号(65;92)和第二信号(69;94),使得该第一信号(65;92)和该第二信号(69;94)各自以不同于所述频率的另一频率振荡,并且该另一相位差(73)与所述相位差(47)具有预定关系。
地址 德国上科亨