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发明名称 PLASMA SOURCES
摘要
申请公布号 EP2044610(B1) 申请公布日期 2012.11.28
申请号 EP20070733491 申请日期 2007.07.06
申请人 SPP PROCESS TECHNOLOGY SYSTEMS UK LIMITED 发明人 PROUDFOOT, GARY;GEORGE, CHRISTOPHER, DAVID;LIMA, PAULO, EDUARDO
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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