玻璃基板曝光机

摘要

本实用新型提供一种玻璃基板曝光机，属于显示技术领域。其中，玻璃基板曝光机，包括玻璃基板搭载台、玻璃基板承接杆和位于玻璃基板搭载台之上的垫板，所述曝光机还包括：设置在所述垫板内两个相对侧的线性导轨；跨设在所述线性导轨上、能够沿着所述线性导轨位移的遮蔽组件，所述遮蔽组件表面的反射率与所述垫板表面的反射率的差值不大于预设阈值；以及与所述遮蔽组件相连、用于带动所述遮蔽组件沿着所述线性导轨位移的驱动组件。本实用新型的技术方案能够解决在高世代线生产大尺寸TFT面板时，玻璃基板上会形成Lift Bar Mura的问题。

主权项

一种玻璃基板曝光机，包括玻璃基板搭载台、玻璃基板承接杆和位于玻璃基板搭载台之上的垫板，其特征在于，所述曝光机还包括：设置在所述垫板内两个相对侧的线性导轨；跨设在所述线性导轨上、能够沿着所述线性导轨位移的遮蔽组件，所述遮蔽组件表面的反射率与所述垫板表面的反射率的差值不大于预设阈值；以及与所述遮蔽组件相连、用于带动所述遮蔽组件沿着所述线性导轨位移的驱动组件，其中，在玻璃基板曝光前，所述玻璃基板承接杆落下后，所述驱动组件带动所述遮蔽组件位移至所述玻璃基板承接杆与所述玻璃基板之间以遮挡住所述玻璃基板承接杆；并能够在玻璃基板曝光后，所述玻璃基板承接杆上升前，带动所述遮蔽组件离开所述玻璃基板承接杆上方使所述玻璃基板承接杆自由上升。