| 发明名称 | 一种高温电加热用的氮化硼-碳化硼-石墨复合发热体 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种高温电加热用的氮化硼-碳化硼-石墨复合发热体，由石墨基体、包覆于石墨基体外表面的碳化硼中间层和包覆于碳化硼中间层外的氮化硼表层构成。石墨基体的外形根据电加热设备的需要进行设计加工，石墨基体需要经过高温预处理；碳化硼中间层包覆在石墨基体表面，厚度为0.02～1mm，由化学气相沉积制备得到；氮化硼表层包覆在碳化硼中间层外侧，厚度为0.1～10mm，由化学气相沉积制备得到。这种氮化硼-碳化硼-石墨复合发热体可以实现2000℃-2800℃的电加热要求，具有发热体电阻率稳定、使用寿命长、温度控制准确和高温环境污染小的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN102795868A | 申请公布日期 | 2012.11.28 |
| 申请号 | CN201210287536.7 | 申请日期 | 2012.08.13 |
| 申请人 | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 | 发明人 | 何军舫;房明浩;刘艳改;黄朝晖 |
| 分类号 | C04B35/66(2006.01)I;C04B41/89(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人 | 王伟锋;刘铁生 |
| 主权项 | 一种高温电加热用的氮化硼‑碳化硼‑石墨复合发热体，其特征在于，由石墨基体、包覆于石墨基体外表面的碳化硼中间层和包覆于碳化硼中间层外的氮化硼表层构成。 | ||
| 地址 | 101101 北京市通州区滨河路108号 | ||