一种用于熔解晶体硅的坩埚及其制备方法和喷涂液

摘要

本发明涉及一种用于熔解晶体硅的坩埚及制备方法和喷涂液，属于坩埚技术领域。解决现有坩埚在使用过程中涂层易剥落和破损现象，不能很好的防止杂质的渗透的问题，目的在于提供一种用于熔解晶体硅的坩埚的涂层的喷涂液，该喷涂液包含氮化硅、烧结添加剂、在常温下能够与坩埚本体粘结的有机粘结剂、无机粘结剂和烧结粘结剂。还提供了一种采用该喷涂液的坩埚，该坩埚包括坩埚本体，所述的坩埚本体的内表面涂覆有涂层，所述的涂层由喷涂液喷涂而成，还提供了一种该坩埚的制备方法，通过喷涂、干燥、烧除、烧结处理后得到用于熔解晶体硅的坩埚。该坩埚能够重复使用，且涂层不易剥落和破损，能够有效了防止坩埚本体中的杂质特别是氧元素的渗透现象。

主权项

一种用于熔解晶体硅的坩埚，其特征在于，包括坩埚本体（1），所述的坩埚本体（1）的内表面涂覆有涂层（2），所述的涂层（2）由喷涂液喷涂而成，所述喷涂液包含氮化硅、烧结添加剂、在常温下能够与坩埚本体（1）粘结的有机粘结剂、无机粘结剂和烧结粘结剂。