畸变测量成像的方法和装置

摘要

提出了一种校准在LCD产业中使用的测量和检验系统的方法。提出了一种组件，其包括通过换能器耦合的两个基板。两个固定装置也粘附至基板并连接至干涉仪。通过利用测量和检验系统的支承台上的基准点作为基准对这些基板的至少一个进行标记而建立一标示。然后操作换能器以模拟诸如热处理或玻璃切割处理之类的LCD玻璃处理。操作该换能器还产生通过干涉仪测量和代表第一畸变测量的信号。然后标示与基准标记比较以确定第二畸变测量。然后第一畸变测量与第二畸变测量的比较用来校准测量和检验装置。

主权项

一种用于校准测量及检验系统的畸变测量方法，所述测量及检验系统包括用于对准基板的基准台和用于对所述基板成像的观测系统，该畸变测量方法包括以下步骤：构造一组件以模拟单个基板，所述组件包括第一基板、第二基板、以及将所述第一基板耦合至所述第二基板的至少一个换能器，其中，操作所述换能器以模拟所述单个基板的热处理加工或切割，且所述换能器包括至少一个传感器；当所述组件在第一位置时，相对于所述基准台在所述第一基板上的至少一个位置处作标示；通过在所述至少一个位置处作标示之后使所述组件成像，来产生第一图像；操作所述换能器从而将所述第一基板相对于所述第二基板移动至第二位置；响应于操作所述换能器，产生反映所述第二位置的传感器值；通过在所述第二位置使所述组件成像来产生第二图像；以及响应于比较所述第一图像、所述第二图像以及所述传感器值，校准测量及检验系统。