研磨装置、研磨垫及研磨信息管理系统

摘要

在研磨垫中埋设有传感器、用以存储藉由传感器而获得的检测信息的存储器、及藉由电源部的驱动而与外部非接触地进行通信的通信器。包含上述结构的研磨垫、及可与设于研磨垫的通信器非接触地进行通信的通信部，用以构成研磨信息管理系统。进而，研磨装置具有：上述结构的研磨垫、及可与设于研磨垫的通信器非接触地进行接收和发送的通信部。

主权项

一种研磨垫，其特征在于，设置有：传感器；存储器，用以存储藉由所述传感器而获得的检测信息；电源部；以及通信器，与外部非接触地进行通信。