| 发明名称 | 燃料电池的MEMS制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种燃料电池的MEMS制造方法，包括：步骤A，提供衬底；步骤B，在所述衬底上同时形成阳极和阴极，以构成燃料电池的极板；步骤C，将所述燃料电池的极板与质子交换薄膜层叠，压合组装形成燃料电池。依照本发明的燃料电池的MEMS制造方法，集成燃料电池阳极、阴极板在同一硅片上，因此本发明工艺简单、构造简洁、便于组装。 | ||
| 申请公布号 | CN102800879A | 申请公布日期 | 2012.11.28 |
| 申请号 | CN201110133383.6 | 申请日期 | 2011.05.23 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 李春龙;赵超 |
| 分类号 | H01M8/10(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01M8/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人 | 陈红 |
| 主权项 | 一种燃料电池的MEMS制造方法，包括：步骤A，提供衬底；步骤B，在所述衬底上同时形成阳极和阴极，以构成燃料电池的极板；步骤C，将所述燃料电池的极板与质子交换薄膜层叠，压合组装形成燃料电池。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3# | ||