一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法

摘要

本发明公开了一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法，包括以下步骤：a）将多晶硅生产工艺中的还原尾气经过干法回收得到干法回收料，将干法回收料送入第一干法精馏塔中进行精馏，从第一干法精馏塔的塔顶采出第一低沸物，并从第一干法精馏塔的塔底排出中间氯硅烷；b）将第一低沸物通入分离塔进行分离，以从分离塔的塔顶采集含硼杂质且从塔底采集二氯二氢硅；c)将中间氯硅烷送入第二干法精馏塔中进行精馏，从第二干法精馏塔的塔顶采集第二低沸物，从第二干法精馏塔的塔底排出四氯化硅。根据本发明的方法，第二低沸物为二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物，可以直接通入还原炉进行还原反应，省去了将二氯二氢硅和三氯氢硅混合的过程。

主权项

一种从干法回收料中提纯二氯二氢硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：a）将多晶硅生产工艺中的还原尾气经过干法回收得到干法回收料，将干法回收料送入第一干法精馏塔中进行精馏，从所述第一干法精馏塔的塔顶采出第一低沸物，所述第一低沸物中含有二氯二氢硅和含硼杂质，并从所述第一干法精馏塔的塔底排出中间氯硅烷；b）将所述第一低沸物通入分离塔进行分离，以从所述分离塔的塔顶采集含硼杂质且从塔底采集二氯二氢硅；c)将所述中间氯硅烷送入第二干法精馏塔中进行精馏，从所述第二干法精馏塔的塔顶采集第二低沸物，所述第二低沸物中含有二氯二氢硅和三氯氢硅，从所述第二干法精馏塔的塔底排出四氯化硅。