氟气生成装置

摘要

本发明提供一种使对用于吸附氟化氢的吸附剂进行回收、更换的维护变得容易且能够稳定地供给氟气的氟气生成装置(100)。该氟气生成装置包括精制线(20)，该精制线包含精制装置，该精制装置利用吸附剂除去由电解槽(1)的熔融盐气化而混入到从阳极(103a)生成的氟气中的氟化氢气体，精制线(20)包括并联配置有至少两台精制装置的第1精制部(21)和并联配置有至少两台精制装置的、配置在第1精制部(21)的下游的第2精制部(22)，通过了第1精制部(21)的任一精制装置的氟气被导入到第2精制部(22)的任一精制装置。

主权项

一种氟气生成装置，其通过电解包含氟化氢的熔融盐中的氟化氢而生成氟气，其特征在于，该氟气生成装置包括：电解槽，其通过在由包含氟化氢的熔融盐构成的电解液中电解氟化氢，从而在阳极侧产生以氟气作为主成分的主生成气体，并且在阴极侧产生以氢气作为主成分的副生成气体；精制线，其具有精制装置，该精制装置利用吸附剂除去由上述电解槽的熔融盐气化而混入到从上述阳极生成的氟气中的氟化氢气体；上述精制线包括：并联配置有至少两台精制装置的第1精制部；并联配置有至少两台精制装置且配置在上述第1精制部的下游的第2精制部；通过了上述第1精制部的任一精制装置的氟气被引导到上述第2精制部的任一精制装置中。