发明名称 Chemical filter for removing cleanroom small amount gas and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号 KR101204456(B1) 申请公布日期 2012.11.27
申请号 KR20100081160 申请日期 2010.08.23
申请人 发明人
分类号 B01D39/16;B01D46/00;F24F3/16 主分类号 B01D39/16
代理机构 代理人
主权项
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