FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS,申请号KR20090082951-传众专利搜索

发明名称	FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR101204211(B1)	申请公布日期	2012.11.26
申请号	KR20090082951	申请日期	2009.09.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;C23C16/00	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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