Verfahren zum Wiederherstellen von Kontaktflächen einer Elektrode

摘要

Verfahren zum Wiederherstellen von Kontaktflächen einer Elektrode, folgende Schritte umfassend: einen ersten Schritt eines Anordnens einer Transferplatte (10) mit einer unregelmäßigen Oberfläche (10s) auf einer Kontaktfläche (44fs) eines Elektrodenabschnitts, der auf einem Isolationssubstrat (44M) einer Elektrodenplatte für die elektrische Verbindung mit einem Anschlussabschnitt einer Halbleitervorrichtung (60) über die Kontaktfläche (44fs) des Elektrodenabschnitts ausgebildet ist, so dass die unregelmäßige Oberfläche (10s) der Transferplatte (10) mit der Kontaktfläche (44fs) eines Elektrodenabschnitts in Kontakt gebracht wird, wobei ein Material der Transferplatte (10) einen von dem des Isolationssubstrats (44M) der Elektrodenplatte unterschiedlichen linearen Ausdehnungskoeffizienten aufweist; einen zweiten Schritt eines Erwärmens der Transferplatte (10) und der Elektrodenplatte bei einer vorbestimmten Temperatur für eine vorbestimmte Zeitspanne während die im ersten Schritt auf der Kontaktfläche (44fs) des Elektrodenabschnitts angeordnete Transferplatte (10) mit einem vorbestimmten Druck (F) in Richtung der Kontaktfläche (44fs) des Elektrodenabschnitts gedrückt wird; und einen dritten Schritt eines Trennens der Transferplatte...