Verfahren zur Messung der optischen Eigenschaften einer bewegten Probe in einer Beschichtungsanlage

摘要

Verfahren zur Messung der optischen Eigenschaften einer bewegten Probe (2) in einer Beschichtungsanlage (1), wobei die Beschichtungsanlage (1) eine Messanordnung aufweist, die – eine Lichtquelle (3), – einen Transmissionsdetektor (4) zur Messung der transmittierten Strahlung (10) eines im Lichtstrahl (9) der Lichtquelle (3) angeordneten Objekts, und – einen Reflexionsdetektor (5) zur Messung der reflektierten Strahlung (11) eines im Lichtstrahl (9) der Lichtquelle (3) angeordneten Objekts umfasst, wobei die Probe (2) auf einem rotierbaren Substrathalter (6) angeordnet ist, der mindestens 3 Ausnehmungen aufweist, die jeweils in den Lichtstrahl (9) der Lichtquelle (3) rotierbar sind, wobei in der ersten Ausnehmung (13) ein nicht transparentes Objekt (16) zum Blockieren des Lichtstrahls (9) angeordnet ist, die zweite Ausnehmung (14) frei ist, und in der dritten Ausnehmung (15) die Probe (2) angeordnet ist, mit den Verfahrensschritten: – Messung der Intensität IT3 der von der Probe (2) transmittierten Strahlung...