| 主权项 |
一种气体供应装置，适于设置在一腔室的腔室壁，以将多个气体源所供应的气体导引至该腔室内，该气体供应装置包括：一第一管路，连通该些气体源其中之一，该第一管路之一第一端部具有一第一流道口、一第二流道口、一面向该腔室内的第一表面与一连接该第一表面的第二表面，该第一流道口位于该第一表面，而该第二流道口位于该第二表面；一第二管路，连通该些气体源其中另一，该第二管路之一第二端部具有一第三流道口与一面向该第二表面的第三表面，该第三流道口位于第三表面；以及一连接件，连接于该第一端部与该第二端部之间，该连接件包括一底部与多个从该底部朝该第二端部延伸出的定位壁，该底部连接于该第二表面与该第三表面之间，而该第二端部更抵靠于该些定位壁，该底部更具有一贯孔以连通该第二流道口与该第三流道口。如申请专利范围第1项所述之气体供应装置，其中该底部呈矩形，而该些定位壁连接于该底部的三个侧边。如申请专利范围第2项所述之气体供应装置，其中该些定位壁包括彼此平行的一第一壁与一第二壁以及一垂直于该第一壁与该第二壁的第三壁，该第一壁与该第二壁分别具有一邻接该第三壁的缺口。如申请专利范围第2项所述之气体供应装置，其中该底部的多个角落分别设有一贯穿该底部的第一锁孔，该第二端部设有多个对应该些第一锁孔且贯穿该第二端部的第二锁孔，而该第二表面设有多个对应该些第一锁孔的第三锁孔，该气体供应装置更包括多个锁固件，每一锁固件穿过对应的该第二锁孔与对应的该第一锁孔并锁固于对应的该第三锁孔内。如申请专利范围第2项所述之气体供应装置，其中该贯孔的几何中心偏离该矩形的几何中心。如申请专利范围第1项所述之气体供应装置，其中该连接件的材质为绝缘材质，该第一管路与该第二管路的材质为金属材质。如申请专利范围第1项所述之气体供应装置，更包括：一基座，设置在该腔室壁；以及一气体喷头，设置在该基座上，而该第一管路的该第一表面连接该气体喷头。如申请专利范围第1项所述之气体供应装置，更包括一射频源，连接于该第一管路所连通的该气体源与该第一管路之间。一种连接件，适于连接于一第一管路的一第一端部与一第二管路的一第二端部之间，该连接件包括一底部与多个从该底部朝该第二端部延伸出的定位壁，该底部连接于该第一端部与该第二端部之间，而该第二端部更抵靠于该些定位壁，该底部更具有一贯孔以连通该第一管路与该第二管路。如申请专利范围第9项所述之连接件，其中该底部呈矩形，而该些定位壁连接于该底部的三个侧边。如申请专利范围第10项所述之连接件，其中该些定位壁包括彼此平行的一第一壁与一第二壁以及一垂直于该第一壁与该第二壁的第三壁，该第一壁与该第二壁分别具有一邻接该第三壁的缺口。如申请专利范围第10项所述之连接件，其中该贯孔的几何中心偏离该矩形的几何中心。如申请专利范围第9项所述之连接件，其中该连接件的材质为绝缘材质。 |
