中介光学感测装置及高精度半导体元件检测机台

摘要

本发明揭露一种中介对位光学影像感测装置，供分别撷取位在其两相反侧面之一组受测物及一组检测装置之影像，且受测物及检测装置分别具有复数沿着一个对应中轴镜像对称之基准点，感测装置包括：一组将受测物与检测装置之光学影像转向并整合的光学整合器；及一组接收来自光学整合器之叠合影像、并辨识复数基准点之光学影像撷取器。将前述感测装置结合基座、输送装置、检测装置、处理装置与缓冲分类装置，结合为检测机台，且利用精密之测试承载盘容置复数受测物，尤适用于高精度半导体元件之自动检测，可大幅提升检测效率与品质。

主权项

一种中介对位光学影像感测装置，系供分别撷取位在其两相反侧面之一组受测物及一组检测装置影像，且该受测物及该检测装置分别具有复数沿着一个对应中轴镜像对称之基准点，该感测装置包括：一组将该受测物与该检测装置之光学影像转向并整合的光学整合器；及一组接收来自该光学整合器之叠合影像、并辨识该等基准点之光学影像撷取器。如申请专利范围第1项所述之感测装置，其中该光学整合器包括一组以其斜边面向该受测物/检测装置之一、及其二等腰边朝向该检测装置/受测物之另一者的等腰直角三棱镜，且该等受测物及检测装置之对应中轴系对应该等腰直角三棱镜斜边之高；以及该光学影像撷取器包括两组照相单元。如申请专利范围第2项所述之感测装置，更包括两组介于该等腰直角三棱镜与该光学影像撷取器间之两组转向镜。如申请专利范围第1项所述之感测装置，其中该光学整合器包括一组以两相对侧面分别面向该受测物及该检测装置、使该受测物影像及该检测装置影像分别被转向，并以该等影像输出方向面向该光学撷取器之X型整合棱镜。一种高精度半导体元件检测机台，其中供该机台检测之该等半导体元件系被分别置放于复数测试承载盘中，且该等承载盘之每一者形成有复数沿一个中轴镜像对称之复数基准点、及复数分别用以承载该等半导体元件之承载槽，该检测机台包含：一个基座；一组输送该等承载盘之输送装置；一组对应该输送装置、并具有复数镜像对称设置基准点之检测装置；一组接受该检测装置讯号而判定该等半导体元件性能之处理装置；一组受该处理装置驱动之缓冲分类装置；及一组可在介入该检测装置及该输送装置间之一个感测位置、及相对远离该感测位置之一个退让位置间移动，并将该等测试承载盘中之该等半导体元件位置资料输出至该处理装置的中介对位光学影像感测装置，该感测装置包括：一组当该感测装置位于该感测位置时，将该等半导体元件与该检测装置之光学影像转向并整合的光学整合器；及一组接收来自该光学整合器之叠合影像、并辨识该等基准点之光学影像撷取器。如申请专利范围第5项所述之机台，其中该等半导体元件系裸晶，且该检测装置包括复数分别对应该等承载槽之探针卡。