| 主权项 |
一种用于蒸发微粒材料并使其沈积于一表面上以形成一层之方法，其包括：(a)在降低氧气及湿气之条件下，在一补充容器中设置一微粒材料之供应，该补充容器具有一密封及一密封的介面配件；(b)将该补充容器之该介面配件安装至一供料斗，以在降低氧气及湿气之条件下，界定至少一进给开口，并破坏该密封，以使该补充容器中之材料暴露于该供料斗；(c)在降低氧气及湿气之条件下，将微粒材料自该补充容器输送至该供料斗；以及(d)在降低氧气及湿气之条件下，使该微粒材料穿过该进给开口沿一进给路径输送至一蒸发区，在此使该微粒材料之至少一构成部分蒸发并将其运送至该表面以形成该层，以降低环境污染。如请求项1之方法，其中该补充容器之体积大于该供料斗之体积。如请求项1之方法，其中该进给路径系藉由一螺旋推运器界定。如请求项1之方法，其中该介面配件提供一真空密封。如请求项1之方法，其中该介面配件提供一惰性气体密封。如请求项1之方法，其中该介面配件包括一波纹筒。如请求项1之方法，其中该微粒材料包含一或多种有机组份。如请求项1之方法，其中该供料斗进给开口之尺寸被确定为可促使该微粒材料以自由流动方式穿过该进给开口的尺寸。如请求项1之方法，其中穿过该进给开口输送该微粒材料包括搅拌该微粒材料之步骤。如请求项1之方法，其中该供料斗系维持在一低于大气压力之压力下。如请求项3之方法，其包括以一重复增量方式旋转该螺旋推运器以进给材料之步骤。如请求项1之方法，其中该蒸发区包括一加热元件。如请求项1之方法，其中在该进给路径中之该微粒材料之温度系维持低于期望蒸发温度。如请求项1之方法，其进一步包括以受控体积计量速率或压力计量进入该蒸发区之该微粒材料。如请求项1之方法，其进一步包括感测该补充容器中微粒材料之数量。如请求项1之方法，其中该穿过该进给开口输送该微粒材料之步骤包括藉由一搅拌装置搅拌该微粒材料。如请求项16之方法，其中该搅拌装置包括一压电结构或一旋转螺纹型装置。如请求项1之方法，其进一步包括在沿该进给路径输送的同时加热该微粒材料。如请求项1之方法，其中该微粒材料包括两种或以上不同的有机材料组份。 |
